● 大容量儲存功能
● 電池電量提示
● 重復(fù)性好、響應(yīng)速度快
● 觸摸式操作儀器
● 大屏幕彩色液晶顯示
● 先進的探頭保護功能
● 抗污染、抗干擾
● 靈敏度高、穩(wěn)定性好
● 體積小巧美觀，易于攜帶
● 直觀的曲線顯示
● 微水值自動轉(zhuǎn)換成20℃標準微水值
【純度檢測模塊】
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測量范圍 |
0～99.99% |
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測量精度 |
±0.2% |
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重復(fù)性 |
±0.1% |
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分辨率 |
0.01% |
【分解產(chǎn)物檢測模塊】
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測量范圍 |
CF4：0.00%-0.10% 空氣：0.00%-0.05% |
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測量精度 |
CF4：誤差±0.01% 空氣：誤差±0.01% |
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重復(fù)性 |
CF4：測量值≥0.05%時，重復(fù)性≤0.24% 空氣:測量值≤0.005%時，重復(fù)性≤0.2% |
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分辨率 |
0.01% |
【其他參數(shù)】
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氣體流量 |
流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)在0.3L/min左右 |
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探頭保護 |
不銹鋼燒結(jié)過濾網(wǎng) |
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工作環(huán)境 |
溫度：-10℃—+50℃ 濕度：0—90% |
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工作電源 |
鋰電池供電，交直流電兩用，自動切換，過充過放保護功能 |
